清理系統系統終過濾器通常使用過濾器或次過濾器，在這里每個清潔度水平似乎有兩種類型的過濾器可供選擇，無論是還是低性能，具體取決于具體情況：當環境受到嚴重污染，或室內排氣比例大，或潔凈室時 特別重要的是需要很大的安全系數。
在任一種或兩種情況下，選擇更高類型的過濾器相反，可以選擇性能較低的濾波器。對于需要控制0.1μm顆粒的潔凈室，無論受控顆粒濃度如何，都應選擇D級過濾器。
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